不管是什么儀器，X熒光光譜儀，直讀光譜儀等，都會產(chǎn)生一定的誤差，根據(jù)誤差產(chǎn)生的原因和性質(zhì)不同，可分為隨機(jī)誤差、系統(tǒng)誤差和過失誤差三類。

       隨機(jī)誤差

       隨機(jī)誤差：測量結(jié)果在正、負(fù)兩個(gè)方向偏離真值的誤差。隨機(jī)誤差的大小用多次測量結(jié)果的彌散程度來表示。隨機(jī)誤差又稱偶然誤差。

       隨機(jī)誤差在每次測量中出現(xiàn)的絕對值和符號是不能予先確定的，然而，對同一樣品同一物理量，在嚴(yán)格控制各測試因素變化的條件下，進(jìn)行多次分析測量，就會發(fā)現(xiàn)測量結(jié)果一般服從正態(tài)分布的統(tǒng)計(jì)規(guī)律。

       隨機(jī)誤差反映了測量結(jié)果的精密度。

       系統(tǒng)誤差

       系統(tǒng)誤差：測量結(jié)果與真值在一個(gè)方問偏離，且具有一定規(guī)律性的誤差。

       光譜分析中產(chǎn)生系統(tǒng)誤差常見的因素有：試樣與標(biāo)準(zhǔn)樣品在化學(xué)組分或組織結(jié)構(gòu)上的不同；標(biāo)準(zhǔn)樣品化學(xué)成分的不準(zhǔn)確；操作、儀器、器皿、環(huán)境的某些參數(shù)變動等。總的說來，測量結(jié)果因受某個(gè)或某些因素的影響，從而產(chǎn)生一個(gè)恒定大小及方向的偏離量。因而，對于測量后果是非常嚴(yán)重的，所以，一切測量結(jié)果都不應(yīng)存在系統(tǒng)誤差。

       對于系統(tǒng)誤差還可以分為兩類，即固定系統(tǒng)誤差和變動的系統(tǒng)誤差。而且，不管那一類系統(tǒng)誤差，都不服從正態(tài)分布規(guī)律，因而，也不能用確定隨機(jī)誤差的方法來判斷和確定系統(tǒng)誤差的存在和大小。

       對光譜分析來說，通常真值是未知的，可使用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)或標(biāo)準(zhǔn)分析方法等辦法判斷是否存在系統(tǒng)誤差。然而，完全準(zhǔn)確的知道系統(tǒng)誤差的確定值也是困難的，這是由于測量結(jié)果中隨機(jī)誤差的存在和真值的相對性。實(shí)際上，在一切測試中是要求將系統(tǒng)誤差減小到相對隨機(jī)誤差而言可以忽略不計(jì)的程度。對于固定系統(tǒng)誤差來說，常常以大量測試數(shù)據(jù)的平均值與相對真值的差值來評估有無系統(tǒng)誤差及其大小、方向。